- | - | 单位 | nEXT55 | nEXT85DN40 | nEXT85DN63 | nEXT240 | nEXT300 | nEXT400 | |
真空数据 | |||||||||
峰值抽速 | N2 | ls^-1 | 55 | 47 | 84 | 240 | 300 | 400 | |
Ar | ls^-1 | 55 | 44 | 80 | 230 | 280 | 380 | ||
He | ls^-1 | 41 | 61 | 78 | 230 | 340 | 390 | ||
H2 | ls^-1 | 27 | 49/44(D/H) | 60/54(D/H) | 165 | 280 | 325 | ||
压缩比 | N2 | - | >1.0E+11 | >10^11 | >10^11(D&T) | ||||
Ar | - | >1.0E+11 | >10^11 | >10^11(D&T) | |||||
He | - | 6.9E+05 | 8x10^6/2x10^7(D/H) | 3x10^5/10^6(D/T) | 10^6/3x10^6(D/T) | 10^8/>10^8(D/T) | |||
H2 | - | 2.9E+04 | 2x10^5/5x10^5(D/H) | 10^4/10^5(D/T) | 5x10^4/10^5(D/T) | 5x10^5/10^6(D/T) | |||
极限真空(CF) | mbar | <1e-7 | <5x10^-10 | ||||||
最大允许前级压力 | N2 | mbar | 18 | 9.5/20(D/T) | |||||
电机数据 | |||||||||
最大功耗 | W | 80(范围50~120) | 160(范围50~200) | ||||||
工作电压 | V直流 | 24~28 | |||||||
额定转速 | rpm | 90000 | 60000 | ||||||
物理数据 | |||||||||
重量(ISO/CF) | kg | 2.47/3.5 | 3 | 3/4.5 | 6/9 | 7/10 | |||
进气法兰 | - | ISO63 | NW40 | ISO63或CF63 | ISO100或CF100 | ISO160或CF160 | |||
排气法兰 | - | NW16 | NW25 | ||||||
磁场容差 | mT | 5 | |||||||
启动到全速所需时间 | s | 115 | 145 | 175 | |||||
安装方向 | - | 进气法兰垂直向上,可向左或向右旋转90度,直到进气法兰不超水平方向+/-2° | |||||||
冷却方式 | - | 风冷/水冷 | 自然冷却/强制风冷/水冷 | ||||||
烘烤期间的进气法兰允许最高温度(仅限CF) | - | 水冷/强制空气冷却120/115℃ | |||||||
轴承技术 | - | 永磁上轴承;油润滑陶瓷下轴承 | |||||||
用户可进行维修轴承 | - | 允许 | |||||||
控制器类型 | - | 机载式 | |||||||
控制通讯接口 | - | RS232,485,I/O | |||||||
可选控制通讯接口 | - | 外置Profibus |
磁力上轴承:确保清洁的真空环境、低功率和低振动
入口筛网:作为标配提供
经过优化的转子设计:可实现高转速和高压缩比
适用于多种应用的型号选择:D =标准nEXT泵。H=优化的转子设计专用于轻气体压缩。T=拥有额外再生级,提高了压缩比和背压力能力
手动破空阀:破空接口以便在不损坏泵的前提下对泵进行破真空,并且可更换为电磁阀,以便进行全自动化对泵进行破空
集成控制器:可提供并行的 I/O 或串行控制,或者也可以与TAG或TIC控制器的其中一个相连,以便轻松实现系统化
用户可自主维护:可采用较少的工具在现场更换轴承和油盒