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nEXT涡轮分子泵
型号:
nEXT系列
品牌:
爱德华(EDWARDS)
简述:
nEXT涡轮分子泵是一种带有复合牵引级和机载式控制器的混合轴承涡轮分子泵,抽速的范围为47ls至1235ls它们全部使用永磁上轴承,能够消除转子顶部的碳氢化合物,对于下轴承,nEXT85~nEXT400使用油润滑下轴承,实现可靠的高速操作,nEXT730/930/1230使用脂润滑下轴承,可360°任意角度安装。 机载控制器与TIC和TAG控制器直接通讯,可提供低成本系统集成。nEXT型号还允许用户自主更换轴承和油盘,以降低运行成本。
产品型号
- - 单位 nEXT55 nEXT85DN40 nEXT85DN63 nEXT240 nEXT300 nEXT400
真空数据
峰值抽速 N2 ls^-1 55 47 84 240 300 400
Ar ls^-1 55 44 80 230 280 380
He ls^-1 41 61 78 230 340 390
H2 ls^-1 27 49/44(D/H) 60/54(D/H) 165 280 325
压缩比 N2 - >1.0E+11 >10^11 >10^11(D&T)
Ar - >1.0E+11 >10^11 >10^11(D&T)
He - 6.9E+05 8x10^6/2x10^7(D/H) 3x10^5/10^6(D/T) 10^6/3x10^6(D/T) 10^8/>10^8(D/T)
H2 - 2.9E+04 2x10^5/5x10^5(D/H) 10^4/10^5(D/T) 5x10^4/10^5(D/T) 5x10^5/10^6(D/T)
极限真空(CF) mbar <1e-7 <5x10^-10
最大允许前级压力 N2 mbar 18 9.5/20(D/T)
电机数据
最大功耗 W 80(范围50~120) 160(范围50~200)
工作电压 V直流 24~28
额定转速 rpm 90000 60000
物理数据
重量(ISO/CF) kg 2.47/3.5 3 3/4.5 6/9 7/10
进气法兰 - ISO63 NW40 ISO63或CF63 ISO100或CF100 ISO160或CF160
排气法兰 - NW16 NW25
磁场容差 mT 5
启动到全速所需时间 s 115 145 175
安装方向 - 进气法兰垂直向上,可向左或向右旋转90度,直到进气法兰不超水平方向+/-2°
冷却方式 - 风冷/水冷 自然冷却/强制风冷/水冷
烘烤期间的进气法兰允许最高温度(仅限CF) - 水冷/强制空气冷却120/115℃
轴承技术 - 永磁上轴承;油润滑陶瓷下轴承
用户可进行维修轴承 - 允许
控制器类型 - 机载式
控制通讯接口 - RS232,485,I/O
可选控制通讯接口 - 外置Profibus
产品特点

磁力上轴承:确保清洁的真空环境、低功率和低振动

入口筛网:作为标配提供

经过优化的转子设计:可实现高转速和高压缩比

适用于多种应用的型号选择:D =标准nEXT泵。H=优化的转子设计专用于轻气体压缩。T=拥有额外再生级,提高了压缩比和背压力能力

手动破空阀:破空接口以便在不损坏泵的前提下对泵进行破真空,并且可更换为电磁阀,以便进行全自动化对泵进行破空

集成控制器:可提供并行的 I/O 或串行控制,或者也可以与TAG或TIC控制器的其中一个相连,以便轻松实现系统化

用户可自主维护:可采用较少的工具在现场更换轴承和油盒

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