- | - | T-Station 85 | T-Station 300 | ||||||
泵对氮气抽速 | - | 47ls^-1(NW40) | 300LS^-1(ISO100) | ||||||
- | 84ls^-1(ISO/CF63) | 300ls^-1(CF100) | |||||||
氮气压缩比 | - | >1x10^11 | >1x10^11 | ||||||
前级泵抽速50Hz60Hz) | E2M1.5 | 1.6m^3 h^-1(1.2cfm) | |||||||
XDD1 | 1.2m^3 h^-1(0.9cfm) | ||||||||
- | mXDS3s | 3m^3 h^-1(3cfm) | |||||||
极限真空*(CF) | Dry ISO63 <5x10^-8mbar; Dry CF63 <5x10^-9mbar; Wet ISO63 <5x10^-9mbar; Wet CF63 <5x10^-10mbar | ISO100 <6x10^-8mbar;CF100 <5x10^-10mbar | |||||||
进气法兰 | - | NW40,ISO63或CF63 | ISO100或CF100 | ||||||
排气法兰 | E2M1.5 | 11mmOD喷嘴或3/8英寸BSP | |||||||
XDD1 | 配备消音器或1/8英寸BSP | ||||||||
- | mXDS3s | 1/8英寸BSP | |||||||
重量 | E2M1.5系统 | 21kg(最大值) | 29kg(最大值) | ||||||
XDD1系统 | 17kg(最大值) | 24kg(最大值) | |||||||
- | mXDS3s | 19kg(最大值) | 26kg(最大值) | ||||||
噪音(在极限真空状态下运行时) | - | <=56dB(A) | <=56±3dB(A) | ||||||
密封性(静态) | - | <1x10^-6mbar ls^-1 | |||||||
运行环境温度范围 | 干泵 | 5-40℃ | |||||||
油泵 | 12-40℃ |
定制集成式控制器:可启动/停止泵的单个专用按钮;晰易读且准确的显示屏;可选择系绪自破空模式,在此模式下TAV5系统碱空磁间适合在无用户干预的情况下的动统破空
高性能前级泵:前级泵可逸3m'h的无油涡旋干泵mXDS3s、干式隔膜系XDD1和油封旋片系E2M1.5
紧凑的外形:底板包括橡胶支脚和两侧内便于微工适的开孔,打造了无懈可击的紧凑外型而又稳固的设计
用户可维修:nEXT涡轮分子系,mXDS3s、XDD1千式隔膜泵和E2M1.5油封旋片泵都是用户可维修的
集成式空气冷却器:集成式空气冷却器用于冷却内部源泵/控制器,可实现静音操作,使用多个风扇
坚固的金属框架:采用全金属框架,设计兼顾,经用,不会开裂或断裂
进气法兰选项:提供NW40、IS063、CF63、ISO100、CF100进气法兰以适配您的应用