- | nEXT涡轮分子系小车 | ||||||||
泵对氮气抽速 | NW4O | 47Is^-1 | |||||||
ISO/CF63 | 84Is^-1 | ||||||||
ISO/CF100 | 240或300Is^-1 | ||||||||
ISO/CF160 | 400Is^-1 | ||||||||
氮气压缩比 | - | >1x 10^11 | |||||||
前级系抽逮50Hz(60Hz) | E2M1.5 | 1.6 m^3h^-1 (1.2 cfm) | |||||||
mXDS3s | 3m^3h^-1 (2.4 cfm) | ||||||||
RV5 | 5.1m^3h^-1 (3.6 cfm) | ||||||||
RV12 | 12m^3h^-1 (8.4 cfm) | ||||||||
XD D1 | 1.2m^3h^-1 (0.9 cfm) | ||||||||
nxDS6i | 6.2m^3h^-1 (3.6 cfm) | ||||||||
nxDS10i | 11.4m^3h^-1 (6.7 cfm) | ||||||||
nXDS15i | 15.1m^3h^-1 (8.9 cfm) | ||||||||
nXDS20i | 22m^3h^-1 (13.0 cfm) | ||||||||
极限真空 (CF) | - | <5 x 10^-10 mbar | |||||||
进气法兰 | - | NW40,IS063,CF63,IS0100,CF100,IS0160 或CF160 | |||||||
排气法兰 | E2M1.5 | NW16 | |||||||
XDD1 | 配备消音器或1/8英寸BSP | ||||||||
RV/nxDs | NW25 | ||||||||
重量 | E2M1.5/XDD1 | 24.9至35kg | |||||||
RV/nxDs | 41.2 kg至55 kg | ||||||||
噪音(在极限真空状态下运行时) | - | ≤ 56 dB(A) | |||||||
密封性(静态) | - | <1x 10^-6mbarls-1 | |||||||
运行环境温度范围 | - | 12至40°C |
涡轮分子泵的选择范围:选用抽速为47至400 ls^-1的涡轮分子泵:以及DN40至DN160的入口法兰
集成控制:分子泵和真空计集成式控制器可实现对泵和多达3个真空计的完全控制,并且能够实现完整的串行远程通信
排气阀选项:可选择的涡轮分子泵排气阀可作为泵车组件的一部分订购
用户可维护:所有nEXT涡轮分子泵和前级泵均可完全由用户维修
坚固的金属框架:带有锁定脚轮的全金属框架坚固并且便于移动的系统设计,包括安全台式操作工作台安装套件
前级泵选择:前级泵可选1mh至22mh“抽速的油封旋片泵或干式泵
低振动:后备泵安装在防振动底座上,能够有效降低前级泵振动对小车产生的影响