产品分类
推荐品牌
| - | 单位 | XDS35i | XDS35iE | XDS46i | |||||
| 真空数据 | |||||||||
| 峰值抽速 | m^3h^-1(cfm) | 35(21) | 35(21) | 40(23.5) | |||||
| 极限真空（1） | mbar(Torr) | 0.01(0.008) | 0.03(0.02) | 0.05(0.04) | |||||
| 极限真空（开气镇1） | mbar(Torr) | 0.02(0.015) | 0.04(0.03） | 0.08（0.06） | |||||
| 极限真空（开气镇2） | mbar(Torr) | 10（7.5） | |||||||
| 最高可抽取水蒸气压力 | mbar(Torr) | 35（23） | 35（23） | 40（30） | |||||
| 水蒸气处理量 | gh^-1 | 240 | |||||||
| 最大连续入口压力(2) | mbar(Torr) | 40（30） | 1000（760） | 40（30） | |||||
| 最大气镇/气体吹扫压力 | bar表压（psig) | 0.5（7） | |||||||
| 电机数据 | |||||||||
| 电源电压 | V | 100-120/200-240(+/-10%) | |||||||
| 电源频率 | Hz | 50/60 | |||||||
| 额定转速 | rpm | 1750 | |||||||
| 极限真空状态下运行功率 | W | 440 | 380 | ||||||
| 电机功率 | W | 520 | |||||||
| 电源连接器 | - | IEC EN60320 C19 | |||||||
| 推荐保险丝，230V(115V) | A | 16(3)20 | 16(3)15 | 16(3)20 | |||||
| 物理数据 | |||||||||
| 重量 | kg(lb) | 48(105) | |||||||
| 进气法兰 | - | NW40 | |||||||
| 排气法兰 | - | NW25 | |||||||
| 噪声(在极限真空状态下运行） | dB(A) | 57 | 55.4 | ||||||
| 噪声(带隔音罩） | dB(A) | 48 | 46.4 | ||||||
| 进气法兰处的振动 | mms^-1(rms) | <4.5 | |||||||
| 密封性（静态） | mbar ls^-1 | <1x10^-6 | |||||||
| 运行环境温度范围 | ℃(℉） | 10至40(50至104） | |||||||
| （1）测量的是全压力 | |||||||||
| （2）这些泵设计的是从大气压力下开始抽气，但是长时间的进气压力高于指定值会缩短轴承的寿命 | |||||||||
| （3）若使用英式240V电源，请使用13A保险丝 |
轴承罩:可确保将制程气体与轴承润滑剂相分离，以确保清洁的真空环境，并避免制程气体中的污染物进入润滑剂中，从而延长轴承的使用寿命
变频器驱动:全球范围内泵性能完全相同，具有泵过载保护和远程启动/停止功能
高流量气镇特性:可以最高240gh^-1的速度抽取蒸气(包括水蒸气)
独特的轴向气隙电机:减小了整体泵尺寸，并且降低了功率和噪声
简单的单端双涡旋设计:可在几分钟内完成维护工作，从而降低运行成本并尽可能延长正常运行时间
双入口和旁通阀技术:XDS35IE适用于大腔体的抽气，防止气体过度压缩，提高泵的效率和抽速，延长轴承的使用寿命
