泵对氮气抽速 | nEXT85 NW40 | 47ls^-1 | |||||||
nEXT85 ISO/CF63 | 84ls^-1 | ||||||||
nEXT300 ISO/CF100 | 300ls^-1 | ||||||||
氮气压缩比 | - | >1x10^11 | |||||||
前级泵抽速 | RV5 | 5.1m^3h^-1(3.6cfm) | |||||||
RV6 | 8m^3h^-1(3.6cfm) | ||||||||
RV12 | 12m^3h^-1(8.4 cfm) | ||||||||
nXDS6i | 6.2m^3h^-1(3.6 cfm) | ||||||||
nXDS10i | 11.4m^3h^-1(6.7 cfm) | ||||||||
nXDS15i | 15.1m^3h^-1(8.9 cfm) | ||||||||
极限真空(CF) | - | <5x10^10mbar | |||||||
进气法兰 | - | NW40,ISO/CF63,ISO100 | |||||||
排气法兰 | - | NW25 | |||||||
重量 | RV/nXDS | 41.2kg至55kg | |||||||
噪音(在极限真空状态下运行时 | - | ≤56dB(A) | |||||||
密封性(静态) | - | <1x10^-6mbar ls^-1 | |||||||
运行环境温度范围 | - | 12至40℃ |
集成控制:可根据应用场景设置自动流程,一键启动
破空阀选项:可选择破空阀加速分子泵停机,提高效率
用户可维修:涡轮分子泵可由用户自行维修,减少使用成本
低振动:前级泵安装在防振动底座上,能够有效降低前级泵振动对泵车产生的影响