入口法兰 | nEXT300 | DN100ISO/DN100CF | |||||||
nEXT730 | DN160ISO/DN160CF | ||||||||
nEXT930 | DN200ISO/DN200CF | ||||||||
排气法兰 | - | NW25 | |||||||
入口抽速(N2) | nEXT300(ISO/CF) | 300ls^-1/300ls^-1 | |||||||
nEXT730(ISO/CF) | 730ls^-1/690ls^-1 | ||||||||
nEXT930(ISO/CF) | 925ls^-1/870ls^-1 | ||||||||
极限真空 | nEXT300(ISO/CF) | 6x10^-8/5x10^-10mbar | |||||||
nEXT730(ISO/CF) | 7x10^-9/3x10^-10mbar | ||||||||
nEXT930(ISO/CF) | 7x10^-9/3x10^-10mbar | ||||||||
电源 | - | 220-240V AC 50/60Hz | |||||||
前级泵抽速50Hz(60Hz) | nXDS6i/10i/15i | 6/11.4/15.1m^3h^-1 | |||||||
nXR30i/60i/90i | 30/60/90m^3h^-1 | ||||||||
XDS35i | 35m^3h^-1 | ||||||||
重量 | - | 最大165kg | |||||||
噪音(在极限真空状态下运行时) | - | ≤56dB(A) | |||||||
密封性(静态) | - | <1x10^-6mbar ls^-1 | |||||||
运行环境温度范围 | - | 12至40℃ |
分子泵选择范围宽:分子泵抽速范围300-930ls^-1,法兰尺寸从DN100到DN200
多种前级泵可选:前级泵的抽速可从6-90m^3h^-1进行选择
简单易用的操控系统:触控界面,一键启动,提供分子泵前级泵和多种真空计的数据监测,同时提供远程串口通讯
破空阀选项:可选择破空阀加速分子泵停机,提高效率
用户自行维护:所有的涡轮分子泵和前级泵都可由用户自行维护