- | 单位 | 5S | 10S | 25S | 45S | 75S | 100L200L | 200L | 300L |
抽速 | ls^-1 | 4-5 | 8-10 | 15-20 | 30-40 | 40-75 | 80-100 | 160-200 | 240-300 |
进气法兰 | |||||||||
DN40(2.75英寸) | - | 2V | 2H | 2V,2H或2D | 2V或2D | - | - | - | |
DN63(4.5英寸) | - | - | - | 4V或4D | - | - | - | ||
DN100(6英寸) | - | - | - | - | - | 65或62 | 6S,6D | - | - |
DN160(8英寸) | - | - | - | - | - | - | - | 8S,8D | 8S,8D |
极板选项 | |||||||||
TiTan CV(钛/钛极板) | |||||||||
TiTan Dl(钛/钽 极板) | |||||||||
TiTan CVX (低磁 钛/钛极板) | |||||||||
TiTan DlX(低磁钛/ 钽 极板) | |||||||||
TiTan TR (钛/钛/钛极板) | |||||||||
真空电极选型 | |||||||||
SC 10kV SAFECONN | |||||||||
OP Perkin Elmer | |||||||||
OV Old Varian | |||||||||
VR Varian StarCell | |||||||||
Fl Fisher Interlock | |||||||||
内部加热器选件 | |||||||||
内部 TSP/NEG选件 | |||||||||
重量 | kg(lbs) | 2.3(5) | 6(13) | 9(20) | 16(34) | 22(48) | 29(65) | 50(112) | 66(145) |
装运重量 | kg(lbs) | 2.8(6) | 8(17) | 11(24) | 18(39) | 25(55) | 47(105) | 69(152) | 89(195) |
极限真空 | mbar | <1x10^-11 | |||||||
启动压力 | mbar | <1x10^-3 | |||||||
使用寿命(在1x10^-6mbar真空条件下的工作时间) | h | Diode/Noble Diode 50,000; Triode 80,000 | |||||||
工作加热温度 | ℃ | 200 | 250 | ||||||
最高加热温度(6) | ℃ | 450 | |||||||
尺寸(长x宽x深) | mm |
消除了机械振动:捕集型泵上没有移动部件。消除了移动部件产生的振动和电气噪声
抗辐射性强:捕集型泵由能够承受超过10^8Grays的抗辐射材料组装而成。连接器和电缆同样由抗辐射材料组装而成,可长期持续工作
耐高温:在没有任何特殊考虑的情况下,捕集型泵可以加热至250C。取下磁体可使加热器加热至450℃。长时间加热烘烤对每个 UHV 系统都至关重要。
免除日常维护:捕集型泵几乎无需维护,并且由于与大气完全隔绝,因此可以避免产生成本高昂的真空故障,从而节省了时间、成本和资源
低初始成本和运营成本:初始成本通常低于同类规格的其他类型真空泵,它们尽可能少地耗费功率或完全不耗费功率以实现多年以来的低成本操作